8英寸MEMS晶圓生產線之多晶硅、硅刻蝕機國際招標公告(1)

中國儀器進出口集團 對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2024-03-28在公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:設備名稱：多晶硅、硅刻蝕機設備數量：1臺設備用途：本設備主要用于8英寸MEMS器件各種產品生產中單晶硅淺腔、多晶硅薄膜的刻蝕加工。資金到位或資金來源落實情況:資金已到位項目已具備招標條件的說明:已具備2、招標內容招標項目編號:0709-244035614012招標項目名稱:8英寸MEMS晶圓生產線之多晶硅、硅刻蝕機項目實施地點:中國安徽省招標產品列表(主要設備):

序號	產品名稱	數量	簡要技術規格	備注
1	多晶硅、硅刻蝕機	1套	多晶硅刻蝕刻蝕速率≥3000？/min，均勻性<5%（片內），<5%（片間），<5%（批間） 單晶硅刻蝕刻蝕速率≥3000？/min，均勻性<5%（片內），<5%（片間），<5%（批間） 極限陡直度≥85° 其他參數詳見第八章

3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業績:（1）投標人是響應招標、已在招標人或招標機構處領購招標文件并參加投標競爭的法人或其他組織。任何未在招標人或招標機構處領購招標文件的法人或其他組織均不得參加投標。（2）凡是來自中華人民共和國或是與中華人民共和國有正常貿易往來的國家或地區的法人或其他組織均可投標。（3）與招標人存在利害關系可能影響招標公正性的法人或其他組織不得參加投標。（4）接參與項目前期咨詢和招標文件編制的法人或其他組織不得參加一家代理商參與本項目投標。同一品牌的制造商和代理商不能同時參加本項目的投標。（11）投標人可以是設備制造廠家或設備授權代理商，代理商需有設備原廠家的有效授權書；并且具有設備技術支持和服務能力。（12）投標人可以是設備制造廠家或設備再制造廠商，也可以是設備授權代理商，代理商需有設備原廠家的有效授權書；并且具有設備技術支持和服務能力。要求2020年至今同類型設備出貨量與驗收數量大于5臺，國產設備與再制造廠商提供合同和驗收材料，進口全新設備出具蓋章的業績說明材料。是否接受聯合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
未曾在中國電力招標采購網（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據招標公告的相說明下載投標文件！

項目 聯系人：李楊  
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備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后，查看項目業主，招標公告，中標公示等，并下載資格預審范圍，資質要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內容為準，以招標業主的解答為準本。

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