8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之多晶硅、硅刻蝕機(jī)國際招標(biāo)公告(2)

蘇美達(dá)國際技術(shù)貿(mào)易 對下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競爭性招標(biāo)，于2025-05-15在公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。1、招標(biāo)條件項(xiàng)目概況:設(shè)備名稱：多晶硅、硅刻蝕機(jī)數(shù)量：1臺設(shè)備原理及用途：基本原理：在射頻電壓的作用下，溴化氫和氯氣產(chǎn)生的等離子體和多晶硅反應(yīng)生成四氯化硅和溴化硅，溴化氫同時有側(cè)壁淀積作用，防止側(cè)腐，生成物被抽出腔體，最終達(dá)到刻蝕的目的。用途：本設(shè)備為全新設(shè)備，主要用于8英寸MEMS器件各種產(chǎn)品生產(chǎn)中多晶硅導(dǎo)線、硅晶圓標(biāo)記和硅淺槽的刻蝕工藝。資金到位或資金來源落實(shí)情況:已到位項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說明:已具備2、招標(biāo)內(nèi)容招標(biāo)項(xiàng)目編號:0664-2540SUMECA83/03招標(biāo)項(xiàng)目名稱:8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之多晶硅、硅刻蝕機(jī)項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國安徽省招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡要技術(shù)規(guī)格	備注
1	多晶硅、硅刻蝕機(jī)	1	該設(shè)備主要由主控制系統(tǒng)，全自動傳輸系統(tǒng)，1個刻蝕工藝腔，尾氣處理系統(tǒng)以及相應(yīng)的射頻系統(tǒng)，氣路系統(tǒng)，制冷系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等模塊組成。設(shè)備按照滿配來配置相關(guān)氣管、Cable、電磁閥、pμmp liner和gas liner等，便于未來增加工藝腔體（設(shè)備主體需要至少保留增加2個工藝腔的ai、ao、di/o、stepper等）。其他參數(shù)詳見第八章	無

3、投標(biāo)人資格要求投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:①投標(biāo)人如為境內(nèi)企業(yè)，提供企業(yè)法人營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書，如為境外企業(yè)提供企業(yè)注冊登記證。②投標(biāo)人可以是設(shè)備制造廠家，也可以是設(shè)備授權(quán)代理商，代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書。③投標(biāo)人開戶行開具的，出具日期在開標(biāo)前三個月內(nèi)的資信證明原件或該原件的復(fù)印件。④投標(biāo)人需要具有履行合同所必需的設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力（提供相關(guān)證明材料或承諾書，承諾書格式自擬）。⑤單位負(fù)責(zé)人授權(quán)書原件。是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受未領(lǐng)購招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以4、
未曾在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應(yīng)先注冊。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說明下載投標(biāo)文件！

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