i-line光刻機(jī)項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。招標(biāo)項(xiàng)目資金已落實(shí)。中科信工程咨詢(xún)（北京） （招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)）受中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所（招標(biāo)人）的委托，對(duì)該項(xiàng)目進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)招標(biāo)采購(gòu)。
1. 招標(biāo)范圍
1.1 貨物名稱(chēng)：i-line光刻機(jī)
1.2 招標(biāo)編號(hào)：招標(biāo)編號(hào)：0779-25400341A052
1.3 項(xiàng)目概況：
i-line光刻機(jī)用于量子傳感、硅光等芯片微結(jié)構(gòu)制造過(guò)程中的對(duì)準(zhǔn)曝光工藝。利用光化學(xué)反應(yīng)原理把事先制備在掩模版上的圖形轉(zhuǎn)印到晶圓表面涂覆的光刻膠上，再使用選擇性的刻蝕再轉(zhuǎn)印到襯底（晶圓）上，并最終形成傳感芯片所需的三維結(jié)構(gòu)。i-line光刻機(jī)由i-line光刻機(jī)、光刻機(jī)隔震臺(tái)組件等組成。更多指標(biāo)詳見(jiàn)第八章技術(shù)規(guī)格。
主要技術(shù)指標(biāo)：
適用于6英寸和8英寸晶圓；
設(shè)備傳片方式：機(jī)械手全自動(dòng)傳片；
最小分辨率≤1um；
支持全自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)，且具備正面/背面和紅外對(duì)準(zhǔn)功能；
對(duì)準(zhǔn)精度:正對(duì)準(zhǔn)≤0.5um；背對(duì)準(zhǔn)≤1um；紅外對(duì)準(zhǔn)精度≤1.5um；
更多技術(shù)指標(biāo)詳見(jiàn)第八章。
1.4 數(shù)量：1套。
1.5 交貨期：合同簽訂生效后10個(gè)月內(nèi)交貨。
1.6 項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)：中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所指定地點(diǎn)。。
2. 對(duì)投標(biāo)人的資格要求
2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織，具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力。
2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書(shū)。授權(quán)書(shū)包括制造商直接開(kāi)具的；或制造商的獨(dú)資公司開(kāi)具的（同時(shí)須提供制造商與獨(dú)資子公司的關(guān)系說(shuō)明，并由雙方簽字或者蓋章）。
2.3本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
2.4投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)
3. 招標(biāo)文件獲取
3.1 如有疑問(wèn)，請(qǐng)致電中航工業(yè) 服務(wù)熱線400-890-0880。
3.2 招標(biāo)文件售價(jià)人民幣800元或112美元，售后款項(xiàng)不予退還。潛在投標(biāo)人應(yīng)通過(guò)本鏈接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標(biāo)文件費(fèi)用，支付后請(qǐng)自行提交電子發(fā)票申請(qǐng)(需再次進(jìn)入鏈接點(diǎn)擊消費(fèi)記錄后填寫(xiě)開(kāi)票信息)，電子發(fā)票將自動(dòng)發(fā) 潛在投標(biāo)人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺(tái)，經(jīng)招標(biāo)人(代理機(jī)構(gòu))確認(rèn)后，才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。
3.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè) 注冊(cè)，辦理CA數(shù)字證書(shū)與電子簽章，否則無(wú)法投標(biāo)。（詳見(jiàn)中航工業(yè) 相關(guān)說(shuō)明）。
4.
未在中國(guó)電力招標(biāo)采購(gòu)網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先點(diǎn)擊注冊(cè)。登錄成功后的在招標(biāo)會(huì)員區(qū)根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說(shuō)明獲取招標(biāo)文件！
咨詢(xún)電話：010-51957458
手 機(jī)：18811547188
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備注：欲購(gòu)買(mǎi)招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人,注冊(cè)網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費(fèi)后，查看項(xiàng)目業(yè)主，招標(biāo)公告并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，招標(biāo)清單，報(bào)名申請(qǐng)表等。為保證您能夠順利投標(biāo)，具體要求及購(gòu)買(mǎi)標(biāo)書(shū)操作流程按會(huì)員區(qū)招標(biāo)信息詳細(xì)內(nèi)容為準(zhǔn)，以招標(biāo)業(yè)主的解答為準(zhǔn)本。
編輯：365trade