原子層沉積系統【重新招標】項目已具備招標條件。資金情況已落實。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受中國航空工業集團公司西安飛行自動控制研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。
1. 招標范圍
1.1 貨物名稱：原子層沉積系統
1.2 招標編號：0779-25400341A069
1.3 項目概況：
該原子層沉積系統用于 MEMS制造領域，在 6 英寸和 8 英寸晶圓上實現 Al?O?（氧化鋁）、TiN（氮化鈦）等材料的高質量沉積。設備應具備高均勻性、高臺階覆蓋能力（深寬比≥5:1），滿足復雜三維結構薄膜沉積的需求。
原子層沉積系統由反應腔、預真空腔、真空抽氣系統、前驅體源管路系統和控制系統等組成。
主要技術指標：
適用于6英寸和8英寸晶圓；
具備沉積Al2O3、TiN的能力；
階梯覆蓋（深寬比5:1）：≥90%；
膜層沉積均勻性：≤5%；
更多技術指標詳見第八章。
1.4 數量：1臺。
1.5 交貨期：合同簽訂后8個月內交貨。
1.6 項目現場：中國航空工業集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。
2. 對投標人的資格要求
2.1 投標人必須是響應招標的法人或其他組織，具有獨立承擔民事責任能力。
2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書。授權書包括制造商直接開具的；或制造商的獨資公司開具的（同時須提供制造商與獨資子公司的關系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。
2.3本項目不接受聯合體投標。
2.4投標人必須向招標代理機構
3. 招標文件獲取
3.1 潛在投標人將付款憑證（形式不限）和發票上傳交易平臺，經招標人(代理機構)確認后，才能獲得招標文件的下載權限。
3.3 投標人必須在中航工業電子采購平臺注冊，辦理CA數字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見中航工業電子采購平臺相關說明）。
4.
未在中國電力招標采購網（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應先點擊注冊。登錄成功后的在 招標會員 區根據招標公告的相應說明獲取招標文件！
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來源：中國電力招標采購網
備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術及商務信息服務費后，查看項目業主，招標公告并下載資格預審范圍，資質要求，
招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按會員區招標信息詳細內容為準。
編輯：ebid.eavic