水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目磁控濺射設(shè)備采購項(xiàng)目招標(biāo)公告

序號(hào)

標(biāo)段名稱

招標(biāo)范圍

工期要求

交貨地點(diǎn)

信息服務(wù)費(fèi)（元）

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目磁控濺射設(shè)備采購項(xiàng)目
DNYZC-2025-1 1-26-029-01

招標(biāo)范（1）主統(tǒng)、真?zhèn)渌厥褂弥覆⑻峁?）備匹配設(shè)（3）專方扳手構(gòu)成設(shè)到，但容之內(nèi)2.3主
2.3.1真

圍
要設(shè)備：采購空系統(tǒng)、膜厚須的安裝附件南、維修指南相應(yīng)的技術(shù)服品備件：掩膜備規(guī)格的密封用工器具：拆、內(nèi)六方扳手備的任何部件對該設(shè)備的安。

要配置及技術(shù)
空蒸鍍設(shè)備主

真空蒸鍍設(shè)備1套，主要包括基片裝置、蒸發(fā)監(jiān)控系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)等，同時(shí)及輔助設(shè)備、隨機(jī)文件、技術(shù)資料（包括操作或服務(wù)手冊），負(fù)責(zé)運(yùn)輸、安裝、調(diào)試、檢驗(yàn)務(wù)與質(zhì)量保證、售后服務(wù)、技術(shù)培訓(xùn)等。

版、鎢舟、鉬舟、石英坩堝、晶振片、CF35圈等；
卸、安裝、檢修設(shè)備時(shí)專用的工器具1套（包、螺絲刀、扳手等工具）。

、組件和裝置如果在本供貨范圍及工作內(nèi)容中全可靠運(yùn)行是必需的，也應(yīng)包括在供貨范圍及

參數(shù)
要配置

發(fā)沉積系包含設(shè)手冊、、驗(yàn)收

銅墊圈、

包含外六

沒有提工作內(nèi)

合同簽訂生效后
120日內(nèi)整批交貨（包含備件及工具）（詳見第二卷第五章供貨要求）

本項(xiàng)目位于陜西省西安長安航天基地東長安街589號(hào)

300

序號(hào)

性能指標(biāo)名稱

技術(shù)要求

備注

1.1

真空鍍膜室

1.1.1

材料及結(jié)構(gòu)

真空室采用304不銹鋼，腔體內(nèi)壁電解拋光

1.2.2

分子泵

抽氣速率不小于3000 L/s

1.2.3

機(jī)械泵

抽氣速率不小于25 m3/h

1.2.4

真空測量時(shí)間

大氣環(huán)境萬級(jí)潔凈間氛圍下從常壓抽至≤5×10-4 pa時(shí)間≤30 min；

1.2.4

極限真空測量

測量范圍從1×105Pa到5.0×10-5 Pa

1.2.4

真空密封

采用金屬密封和氟橡膠圈密封

1.3

蒸發(fā)室基片裝置

1.3.1

基片材料

導(dǎo)電玻璃

1.3.2

樣品尺寸

400 mm×400 mm的樣品且可向下兼容更多尺寸

1.3.3

基片托盤

通過電機(jī)旋轉(zhuǎn)0~30 rpm可調(diào)

1.4

蒸發(fā)源和蒸發(fā)電源

1.4.1

蒸發(fā)源

配備2組金屬蒸發(fā)源和4組有機(jī)蒸發(fā)源，可兼容蒸鍍金屬、有機(jī)及無機(jī)材料；源與源之間均配有防止交叉污染的防污板

1.4.2

金屬蒸發(fā)電源

配備可編程的直流穩(wěn)壓金屬蒸發(fā)電源1套，金屬蒸發(fā)電源功率≥1.5 KW及以上，最高升溫溫度可達(dá)1500℃，且通過電流控制方式，精確到0.1 A，并實(shí)現(xiàn)蒸鍍速率0.01Å/s的精度顯示，可進(jìn)行電流、電壓模式的任意

切換和具有水冷控制

1.4.3

有機(jī)蒸發(fā)電源

配備有機(jī)蒸發(fā)電源1套；可通過電流或PID智能溫控方式進(jìn)行控制（采用電流控制方式時(shí)需精確到0.1A，并實(shí)現(xiàn)蒸鍍速率0.01Å/s的精度顯示，可進(jìn)行電流、電壓模式的任意切換和具有水冷控制；采用PID智能溫控方式時(shí)控溫精度±1℃）；

1.4.4

控制系統(tǒng)

采用PLC+PC控制方式

1.4.5

安全保護(hù)措施

缺水欠壓檢測與保護(hù)、相序檢測與保護(hù)、溫度檢測與保護(hù)、真空系統(tǒng)檢測與保護(hù)。對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施；完善的程序互鎖，完備的防誤操作設(shè)計(jì)及保護(hù)。

1.5

膜厚監(jiān)測系統(tǒng)

1.5.1

膜厚儀

不少于1組膜厚儀，不少于2套膜厚檢測探頭

1.5.2

蒸發(fā)速率測量精度

0.1~0.5A/s(≤±10%)，0.6~10.0A/s(≤±5%)

1.5.3

膜厚儀測量精度

膜厚儀測量精度優(yōu)于±0.01Å/s，若鍍膜達(dá)到設(shè)置厚度，可自動(dòng)切斷電源，停止鍍膜且擋板關(guān)閉

1.5.4

溫度控制精度

±1℃（RT~700℃）

1.5.5

厚度測量精度

優(yōu)于±1Å；具備與電源聯(lián)鎖功能

1.5.6

片內(nèi)膜厚不均勻性

≤5.0%（樣品尺寸400 mm×400 mm，且在20 nm~100 nm范圍內(nèi)的薄膜材料：包括但不限于金、銀、銅、鋁、C60、BCP、LiF2、MgF2等材料，且由招標(biāo)方指定材料進(jìn)行驗(yàn)證），測試方法：薄膜有效區(qū)范圍內(nèi)3×3排列9點(diǎn)測量：不均勻性=（膜厚最大值-膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）*100%

1.5.7

片間膜厚不均勻性

≤5.0%（樣品尺寸400 mm×400 mm，且在20 nm~100 nm范圍內(nèi)的薄膜材料：包括但不限于金、銀、銅、鋁、C60、BCP、LiF2、MgF2等材料，且由招標(biāo)方指定材料進(jìn)行驗(yàn)證），測試方法：薄膜有效區(qū)范圍內(nèi)3×3排列9點(diǎn)測量：不均勻性=（膜厚最大值-膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）*100%。

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目激光設(shè)備采購項(xiàng)目
DNYZC-2025-1 1-26-029-02

1.6

自動(dòng)鍍膜系統(tǒng)

開啟后根據(jù)用戶設(shè)置的升降溫和蒸發(fā)速率參數(shù)，自動(dòng)升溫加熱蒸發(fā)材料，按照制定速率蒸鍍，到達(dá)設(shè)定厚度后自動(dòng)關(guān)閉擋板，并降溫

交貨期：合同簽訂生效后90日內(nèi)整批交貨（包含備件及工具）（詳見第二卷第五章供貨要求

本項(xiàng)目位于陜西省西安長安航天基地東長安街589號(hào)

300

1.7

水冷系統(tǒng)

1.7.1

冷水機(jī)

控溫范圍：5℃~30℃

1.8

工藝支持

投標(biāo)人提供C60和BCP作為鈣鈦礦器件電子傳輸層的蒸鍍工藝，保證招標(biāo)方在其他薄膜層制備條件不變時(shí)采用該工藝制備電子傳輸層的鈣鈦礦太陽能電池性能不低于招標(biāo)方使用旋涂法制備PCBM和BCP作為電子傳輸層的性能。

招標(biāo)
（1）采的除塵備、隨冊)，負(fù)證、售（2）
（3）
（4）構(gòu)有提到作內(nèi)容2.3主
2.3.1雙

范圍
購1臺(tái)雙路器、水冷機(jī)機(jī)文件、技責(zé)運(yùn)輸、安后服務(wù)、技專用工器具：易耗件：水冷成設(shè)備的任，但對該設(shè)之內(nèi)。

要配置及技術(shù)路激光劃線

激、
術(shù)
裝術(shù)

何備

清

光劃線清邊設(shè)備，包括雙路激光劃線金相顯微鏡模塊以及設(shè)備所必須的安資料(包括操作手冊、使用指南、維修、調(diào)試、檢驗(yàn)、驗(yàn)收并提供相應(yīng)的技培訓(xùn)等。

激光功率測試儀、絕緣測試儀、萬用表機(jī)濾芯、除塵濾芯
部件、組件和裝置如果在本供貨范圍的安全可靠運(yùn)行是必需的，也應(yīng)包括

參數(shù)：
邊設(shè)備主要配置

清邊設(shè)
裝附件及指南或
術(shù)服務(wù)與

。

及工作內(nèi)在供貨范

備、配套輔助設(shè)服務(wù)手
與質(zhì)量保

內(nèi)容中沒圍及工

序
號(hào)

性能指標(biāo)名稱

要求參數(shù)值

備

注

總體要求

/

1.1

加工幅面

50 mm*50 mm～400 mm*400 mm，可根據(jù)片源大小進(jìn)行調(diào)節(jié)

1.2

可加工基材厚度

0～40mm，軟件中輸入基材厚度后，設(shè)備自動(dòng)對焦

1.3

主體結(jié)構(gòu)

焊接鋼結(jié)構(gòu)+大理石基座，整機(jī)設(shè)備外光路采用全密封設(shè)計(jì)并配置觀察窗口，避免直射人眼

納秒紅外激光系統(tǒng)

/

2.1

激光類型

1064 nm納秒紅外；

2.2

激光器功率

100W，軟件內(nèi)可設(shè)置

2.3

激光器功率波動(dòng)穩(wěn)定性

＜5%RMS

2.4

激光器可調(diào)頻率范圍

不低于（1～1000）kHz

2.5

激光器脈寬范圍

不小于20 ns～200 ns，軟件內(nèi)可設(shè)置

2.6

光束質(zhì)量M2

≤1.5

2.7

最小劃線寬度

20um～30um

2.8

最小劃線間距

20um～30um

2.9

熱影響區(qū)

單側(cè)≤5um

2.10

清邊寬度

≥10mm

2.11

清邊時(shí)間

<11min（邊長400mm，寬度10mm）

2.12

絕緣電阻

劃線后>2MΩ、清邊后>100MΩ

2.13

光斑整形

配置適用于本設(shè)備紅外激光系統(tǒng)易拆卸光學(xué)附件，具備將圓形光斑整形為方形光斑及將高斯光斑整形成平頂光斑的功能

皮秒紫外激光系統(tǒng)

/

3.1

激光類型

355 nm皮秒紫外

3.2

激光器功率

≥15W，軟件內(nèi)可設(shè)置

3.3

激光器功率波動(dòng)穩(wěn)定性

＜3%RMS

3.4

激光器可調(diào)頻率范圍

不低于（1～1000）kHz

3.5

激光器脈寬

＜15ps

3.6

光束質(zhì)量M2

＜1.3

3.7

最小劃線寬度

20um～30um

3.8

最小劃線間距

20um～30um

3.9

熱影響區(qū)

單側(cè)≤10um

3.10

光斑整形

配置適用于本設(shè)備紫外激光系統(tǒng)易拆卸光學(xué)附件，具備將圓形光斑整形為方形光斑及將高斯光斑整形成平頂光斑的功能

加工平臺(tái)

/

4.1

電機(jī)配置

X軸及Y軸采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，兩路激光器分別具有單獨(dú)的Z軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

4.2

平臺(tái)尺寸

可加工最大400 mm×400 mm尺寸基材，固定方式為真空吸附，臺(tái)面采用非鋁合金耐高溫材質(zhì)

4.3

XY軸定位精度

≤±3μm

4.4

XY軸重復(fù)定位精度

≤±3μm

4.5

XY軸最大移動(dòng)速度

≥1000mm/s

4.6

Z軸精度

≤±5μm

4.7

劃線平行度

≤±10μm/m

4.8

軌跡編輯

劃刻路徑可軟件內(nèi)編輯、可用CAD文件導(dǎo)入、可設(shè)置某段路徑激光的開關(guān)，能存儲(chǔ)20個(gè)以上工藝方案

影像定位系統(tǒng)

/

5.1

CCD像素

≥500萬

5.2

CCD定位精度

≤±2µm

抽塵機(jī)

/

6.1

總要求

激光加工過程中同步吸塵

6.2

除塵效果

配有多級(jí)過濾系統(tǒng)，除塵效率≥99.9%（0.1～1μm灰塵顆粒）

6.3

尾氣

可直接接入廠務(wù)熱排風(fēng)系統(tǒng)

/

5孔物鏡轉(zhuǎn)盤，物鏡倍數(shù)為5X、10X、20X、50X、100X，雙目鏡倍數(shù)10X，瞳距可調(diào)

7.2載物臺(tái)

尺寸不小于150 mm×120 mm，移動(dòng)范圍不小于70mm×50 mm，額外配備支架以保證大尺寸工件平穩(wěn)放置

3

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目狹縫涂布及附屬設(shè)備采購項(xiàng)目
DNYZC-2025-1 1-26-029-03

招標(biāo)范圍
（1）主要設(shè)備：狹縫涂布設(shè)備1臺(tái)
附屬設(shè)備：真空制晶設(shè)備1臺(tái)、退火設(shè)備1臺(tái)。

備品備件：氣管、液管、管路接頭、玻璃供液罐、墊片。

專用工具：扭力扳手、公制內(nèi)六角扳手、大理石平尺、硅片取放料工具、油石。

（2）隨機(jī)文件、技術(shù)資料（包括操作手冊、使用指南、維修指南或服務(wù)手冊），負(fù)責(zé)設(shè)計(jì)、制造、試驗(yàn)（包括工廠試驗(yàn)、出廠試驗(yàn)、交接試驗(yàn)）、供貨、包裝、運(yùn)輸、現(xiàn)場安裝、調(diào)試及試運(yùn)行，并提供相應(yīng)的技術(shù)服務(wù)與質(zhì)量保證、售后服務(wù)、技術(shù)培訓(xùn)等。

（3）構(gòu)成設(shè)備的任何部件、組件和裝置如果在本供貨范圍及工作內(nèi)容中沒有提到，但對該設(shè)備的安全可靠運(yùn)行是必需的，也應(yīng)包括在供貨范圍及工作內(nèi)容之內(nèi)。

合同簽訂后4個(gè)月內(nèi)完成設(shè)備到貨，并在兩周內(nèi)完成設(shè)備的調(diào)試。

本項(xiàng)目位于陜西省西安長安航天基地東長安街589號(hào)

300

2.3主2.3.1

要配置及技術(shù)參狹縫涂布設(shè)備技

參數(shù)：
術(shù)參數(shù)

序
號(hào)

性能指標(biāo)名稱

要求參數(shù)值

1

適用基材

透明導(dǎo)電玻璃、硅片等基材

2

適用基材尺寸

玻璃≥400 mm×400 mm，硅片≥166 mm×166 mm

3

涂膜面積

玻璃有效涂膜面積≥380×380 mm，硅片需滿涂

4

固含量

5-75%

5

適用基材厚度

玻璃：1.1~3.5 mm
硅片：0.1~0.3 mm

6

涂布厚度

0.1-10μm（干膜）

7

涂布速度

0-100 mm/s，速度可調(diào)，速度精度0.1 mm/s

8

涂布方式

狹縫涂布

9

薄膜均勻性

片內(nèi)薄膜不均度≤5%（采用9點(diǎn)測試法，以上、下、左、右、中心9點(diǎn)為測量基準(zhǔn)，計(jì)算方式為Ui=(Umax-Umin)/(Umax+Umin)，U為膜厚），片間薄膜不均

Ui=(Uavgmax-Uavgmin)/(Uavgmax+Uavgmin)，U為膜厚），玻璃背面無污染。（設(shè)備連續(xù)工作10個(gè)工作日均滿足）

10

適用溶劑體系

水性、油性、有機(jī)溶劑等溶劑型涂料

11

設(shè)備配備雙龍門

每套龍門各配一套模頭、一套供液系統(tǒng)

12

涂硅片

設(shè)備可通過更換“吸附平臺(tái)、模頭”等組件的方式，切換為涂覆硅片的設(shè)備。所需的吸附平臺(tái)及模頭由廠家配齊

13

硅片取放

設(shè)備配備頂升裝置，便于取放硅片

14

預(yù)涂功能

設(shè)備配備預(yù)涂區(qū)域或預(yù)涂輥

15

平移系統(tǒng)

保證龍門或吸附平臺(tái)的平穩(wěn)移動(dòng)，調(diào)平后刀頭與平臺(tái)的相對平行度＜20μm

16

涂布模頭

采用流體仿真設(shè)計(jì)涂布模頭，刀頭直線度（R）≤3μm，粗糙度Ra≤0.025；唇口直線度（R）≤3μm，提供第三方專業(yè)檢測報(bào)告

17

模頭數(shù)量配置

涂玻璃模頭配備2個(gè)，涂硅片模頭配備1個(gè)

18

涂布模頭材質(zhì)

不銹鋼合金，具有良好的耐腐蝕性能，可拆卸清洗，防形變

19

模頭升降

模頭升降采用高精度伺服電機(jī)方式驅(qū)動(dòng)；可自動(dòng)調(diào)整唇口與被涂基材的間隙。涂膜高度依基板厚度自動(dòng)調(diào)節(jié)，可手動(dòng)設(shè)置補(bǔ)償功能。左右兩側(cè)可自動(dòng)調(diào)平（調(diào)節(jié)模頭唇口與被涂基板的平行度），自動(dòng)調(diào)平后，狹縫模頭水平校準(zhǔn)誤差精度≤±2μm

20

墊片厚度

0.05/0.08/0.1 mm

21

功能模塊

涂布模頭具有防撞、快速充液和排泡功能（快速充液和排泡功能滿足對供液泵、模頭及管路進(jìn)行充液和排泡。從空模頭、空漿料罐狀態(tài)到可進(jìn)行涂膜狀態(tài)之間間隔不得超過10 min）

22

基臺(tái)及材質(zhì)

整機(jī)攜有大理石承重減震基底平臺(tái)

23

基材測距

每次涂膜前，可自動(dòng)檢測當(dāng)前基板高度（厚度），同一片基板高度（厚度）檢測誤差≤3μm

24

注液泵

注液泵應(yīng)能保證漿料擠出均勻連續(xù)，確保涂膜一致性，其速度精度優(yōu)于0.1μl/s；供液速度在1-500μl/s，速度可調(diào)；具備自動(dòng)補(bǔ)液、補(bǔ)液后自動(dòng)泄壓及回吸功能

25

自動(dòng)清洗模塊

設(shè)備具備自動(dòng)清洗模頭功能，自動(dòng)清洗后，必須保證無藥液殘留，管路及型腔內(nèi)部無明顯液體凝聚現(xiàn)象；設(shè)置模頭清洗區(qū)域，配備壓刀槽和排液槽，配合上述自動(dòng)清洗功能和快速充液、排泡功能

26

吸附平臺(tái)

表面平整度≤±5μm，平臺(tái)集成真空吸附系統(tǒng)，大小可調(diào)

27

儲(chǔ)液罐及管路

需采用耐腐蝕材料，液體管路需使用半透明材質(zhì)

28

質(zhì)量保證

涂布過程中，需要通過程序?qū)崟r(shí)控制注液情況，以確保在涂布前端及涂布結(jié)束后，不能出現(xiàn)涂布頭滴液情況

29

防塵和尾廢

設(shè)備配備防塵罩及FFU過濾系統(tǒng)，內(nèi)部潔凈度保證在千級(jí)；配備三色燈及揮發(fā)溶劑排風(fēng)口；機(jī)臺(tái)具有防液體潑灑特性，避免漿料侵入設(shè)備內(nèi)部，損壞內(nèi)部關(guān)鍵元器件

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目真空蒸鍍設(shè)備采購項(xiàng)目
DNYZC-2025-1 1-26-029-04

招標(biāo)范圍
（1）主要設(shè)備：采購真空蒸鍍設(shè)備1套，主要包括基片裝置、蒸發(fā)沉積系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、膜厚監(jiān)控系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)等，同時(shí)包含設(shè)備所必須的安裝附件及輔助設(shè)備、隨機(jī)文件、技術(shù)資料（包括操作手冊、使用指南、維修指南或服務(wù)手冊），負(fù)責(zé)運(yùn)輸、安裝、調(diào)試、檢驗(yàn)、驗(yàn)收并提供相應(yīng)的技術(shù)服務(wù)與質(zhì)量保證、售后服務(wù)、技術(shù)培訓(xùn)等。

（2）備品備件：掩膜版、鎢舟、鉬舟、石英坩堝、晶振片、CF35銅墊圈、匹配設(shè)備規(guī)格的密封圈等；
（3）專用工器具：拆卸、安裝、檢修設(shè)備時(shí)專用的工器具1套（包含外六方扳手、內(nèi)六方扳手、螺絲刀、扳手等工具）。

合同簽訂生效后90日內(nèi)整批交貨（包含備件及工具）（詳見第二卷第五章供貨要求）

本項(xiàng)目位于陜西省西安長安航天基地東長安街589號(hào)

300

構(gòu)成設(shè)備到，但對容之內(nèi)。2.3主要
2.3.1真空

的任何部件該設(shè)備的安

配置及技術(shù)
蒸鍍設(shè)備主

、組件和裝置如果在本供貨范圍及工作內(nèi)容全可靠運(yùn)行是必需的，也應(yīng)包括在供貨范圍

參數(shù)
要配置

中沒有提及工作內(nèi)

序號(hào)

性能指標(biāo)名稱

技術(shù)要求

備注

1.1

真空鍍膜室

1.1.1

材料及結(jié)構(gòu)

真空室采用304不銹鋼，腔體內(nèi)壁電解拋

1.4.1

蒸發(fā)源

配備2組金屬蒸發(fā)源和4組有機(jī)蒸發(fā)源，可兼容蒸鍍金屬、有機(jī)及無機(jī)材料；源與源之間均配有防止交叉污染的防污板

1.4.2

金屬蒸發(fā)電源

配備可編程的直流穩(wěn)壓金屬蒸發(fā)電源1套，金屬蒸發(fā)電源功率≥1.5 KW及以上，最高升溫溫度可達(dá)1500℃，且通過電流控制方式，精確到0.1 A，并實(shí)現(xiàn)蒸鍍速率0.01Å/s的精度顯示，可進(jìn)行電流、電壓模式的任意

切換和具有水冷控制

1.4.3

有機(jī)蒸發(fā)電源

配備有機(jī)蒸發(fā)電源1套；可通過電流或PID智能溫控方式進(jìn)行控制（采用電流控制方式時(shí)需精確到0.1A，并實(shí)現(xiàn)蒸鍍速率0.01Å/s的精度顯示，可進(jìn)行電流、電壓模式的任意切換和具有水冷控制；采用PID智能溫控方式時(shí)控溫精度±1℃）；

1.4.4

控制系統(tǒng)

采用PLC+PC控制方式

1.4.5

安全保護(hù)措施

缺水欠壓檢測與保護(hù)、相序檢測與保護(hù)、溫度檢測與保護(hù)、真空系統(tǒng)檢測與保護(hù)。對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施；完善的程序互鎖，完備的防誤操作設(shè)計(jì)及保護(hù)。

1.5

膜厚監(jiān)測系統(tǒng)

1.5.1

膜厚儀

不少于1組膜厚儀，不少于2套膜厚檢測探頭

1.5.2

蒸發(fā)速率測量精度

0.1~0.5A/s(≤±10%)，0.6~10.0A/s(≤±5%)

1.5.3

膜厚儀測量精度

膜厚儀測量精度優(yōu)于±0.01Å/s，若鍍膜達(dá)到設(shè)置厚度，可自動(dòng)切斷電源，停止鍍膜且擋板關(guān)閉

1.5.4

溫度控制精度

±1℃（RT~700℃）

1.5.5

厚度測量精度

優(yōu)于±1Å；具備與電源聯(lián)鎖功能

序號(hào)

標(biāo)段名稱

資格要求及業(yè)績要求

1

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目磁控濺射設(shè)備采購項(xiàng)目
 

投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人基本資格要求
（1）投標(biāo)人具有獨(dú)立訂立合同的資格；
（2）投標(biāo)人經(jīng)營狀況良好，具有良好的資信和信用（以“信用中國”網(wǎng)站網(wǎng)站查詢?yōu)闇?zhǔn),沒有被列入嚴(yán)重失信主體名單），沒有處于會(huì)導(dǎo)致中標(biāo)后無法履行合同的被責(zé)令停產(chǎn)停業(yè)、財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)、破產(chǎn)狀態(tài)；
（3）財(cái)務(wù)狀況及資信
近三年財(cái)務(wù)和資信狀況良好。沒有財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)或處于破產(chǎn)狀態(tài)。應(yīng)提供銀行出具的資信證明、納稅人資格證明。

（4）投標(biāo)人近36個(gè)月內(nèi)(含，自投標(biāo)截止日起往前推算)不存在騙取中標(biāo)、嚴(yán)重違約及因自身的責(zé)任而使任何合同被解除的情形；
（5）單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在控股、管理關(guān)系的不同單位不得在同一標(biāo)段投標(biāo)；

專用資格條件
資質(zhì)要求
投標(biāo)人必須是在中華人民共和國市場監(jiān)管部門注冊的，具有獨(dú)立法人和一般納稅人資格的磁控濺射設(shè)備制造企業(yè)或代理企業(yè)。代理企業(yè)必須提供磁控濺射設(shè)備制造企業(yè)出具的有效授權(quán)書。同一貨物/產(chǎn)品（同一品牌、同一型號(hào)）只能有一家投標(biāo)人，如為代理商投標(biāo)，一個(gè)制造商對同一品牌、同一型號(hào)的貨物，僅能委托一個(gè)代理商參加投標(biāo)，否則相關(guān)投標(biāo)均做無效處理。

業(yè)績要求
投標(biāo)人應(yīng)具有近3年內(nèi)（自投標(biāo)截止日起往前推算，以竣工驗(yàn)收時(shí)間為準(zhǔn)）完成至少3臺(tái)及以上磁控濺射設(shè)備供貨合同業(yè)績，其中至少有1臺(tái)有效加工幅面不小于1.2m*0.6m供貨業(yè)績?！拘杼峁┖贤瑥?fù)印件（包括合同首頁、承包范圍、簽字頁）、竣工證明（竣工驗(yàn)收證明或業(yè)主出具的證明文件或其他有效證明資料）】

2

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目激光設(shè)備采購項(xiàng)目
 

投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人基本資格要求
（1）投標(biāo)人具有獨(dú)立訂立合同的資格；
（2）投標(biāo)人經(jīng)營狀況良好，具有良好的資信和信用（以“信用中國”網(wǎng)站網(wǎng)站查詢?yōu)闇?zhǔn),沒有被列入嚴(yán)重失信主體名單），沒有處于會(huì)導(dǎo)致中標(biāo)后無法履行合同的被責(zé)令停產(chǎn)停業(yè)、財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)、破產(chǎn)狀態(tài)；
（3）財(cái)務(wù)狀況及資信
近三年財(cái)務(wù)和資信狀況良好。沒有財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)或處于破產(chǎn)狀態(tài)。應(yīng)提供行出具的資信證明、納稅人資格證明。

（4）投標(biāo)人近36個(gè)月內(nèi)(含，自投標(biāo)截止日起往前推算)不存在騙取中標(biāo)、嚴(yán)重違約及因自身的責(zé)任而使任何合同被解除的情形；
（5）單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在控股、管理關(guān)系的不同單位不得在同一標(biāo)段投標(biāo)；

專用資格條件
資質(zhì)要求
投標(biāo)人必須是在中華人民共和國市場監(jiān)管部門注冊的，具有獨(dú)立法人和一般納稅人資格的激光設(shè)備制造企業(yè)或代理企業(yè)。代理企業(yè)須提供激光設(shè)備制造企業(yè)出具的有效授權(quán)書。同一貨物/產(chǎn)品（同一品牌、同一型號(hào)）只能有一家投標(biāo)人。如為代理商投標(biāo)，一個(gè)制造商對同一品牌、同一型號(hào)的貨物，僅能委托一個(gè)代理商參加投標(biāo)，否則相關(guān)投標(biāo)均做無效處理。

業(yè)績要求
投標(biāo)人應(yīng)具有近3年內(nèi)（自投標(biāo)截止日起往前推算，以竣工驗(yàn)收時(shí)間為準(zhǔn)）完成至少3臺(tái)同型號(hào)或相近技術(shù)規(guī)格的雙路或量產(chǎn)型激光劃線清邊設(shè)備加工幅面不小于1.2m*0.6m的鈣鈦礦產(chǎn)線設(shè)備供貨合同業(yè)績?！拘杼峁┖贤瑥?fù)印件（包括合同首頁、承包范圍、簽字頁）、竣工證明（竣工驗(yàn)收證明或業(yè)主出具的證明文件或其他有效證明資料）】

3

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目狹縫涂布及附屬設(shè)備采購項(xiàng)目
 

投標(biāo)人基本資格要求
（1）投標(biāo)人具有獨(dú)立訂立合同的資格；
（2）投標(biāo)人經(jīng)營狀況良好，具有良好的資信和信用（以“信用中國”網(wǎng)站網(wǎng)站查詢?yōu)闇?zhǔn)，沒有被列入嚴(yán)重失信主體名單），沒有處于會(huì)導(dǎo)致中標(biāo)后無法履行合同的被責(zé)令停產(chǎn)停業(yè)、財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)、破產(chǎn)狀態(tài)；
（3）財(cái)務(wù)狀況及資信
近三年財(cái)務(wù)和資信狀況良好。沒有財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)或處于破產(chǎn)狀態(tài)。應(yīng)提供銀行出具的資信證明、納稅人資格證明。

（4）投標(biāo)人近36個(gè)月內(nèi)(含，自投標(biāo)截止日起往前推算)不存在騙取中標(biāo)、嚴(yán)重違約及因自身的責(zé)任而使任何合同被解除的情形；
（5）單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在控股、管理關(guān)系的不同單位不得在同一標(biāo)段投標(biāo)；

專用資格條件
資質(zhì)要求：投標(biāo)人必須是在中華人民共和國市場監(jiān)管部門注冊的，具有獨(dú)立法人和一般納稅人資格的狹縫涂布設(shè)備制造企業(yè)或代理企業(yè)。代理企業(yè)必須提供狹縫涂布設(shè)備制造企業(yè)出具的有效授權(quán)書。同一貨物/產(chǎn)品（同一品牌、同一型號(hào)）只能有一家投標(biāo)人。如為代理商投標(biāo)，一個(gè)制造商對同一品牌、同一型號(hào)的貨物，僅能委托一個(gè)代理商參加投標(biāo)，否則相關(guān)投標(biāo)均做無效處理。

業(yè)績要求：投標(biāo)人應(yīng)具有近3年內(nèi)（自投標(biāo)截止日往前推算，已竣工驗(yàn)收時(shí)間為準(zhǔn)）完成至少3臺(tái)及以上，加工幅面≥300 mm×300 mm的狹縫涂布設(shè)備在鈣鈦礦電池制備領(lǐng)域供貨業(yè)績，同時(shí)至少有1臺(tái)有效涂布幅面不小于1.2 m×0.6 m的供貨業(yè)績?！拘杼峁┖贤瑥?fù)印件（包括合同首頁、承包范圍、簽字頁）、竣工證明（竣工驗(yàn)收證明或業(yè)主出具的證明文件或其他有效證明資料）】。

4

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目真空蒸鍍設(shè)備采購項(xiàng)目
 

投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人基本資格要求
（1）投標(biāo)人具有獨(dú)立訂立合同的資格；
（2）投標(biāo)人經(jīng)營狀況良好，具有良好的資信和信用（以“信用中國”網(wǎng)站網(wǎng)站查詢?yōu)闇?zhǔn),沒有被列入嚴(yán)重失信主體名單），沒有處于會(huì)導(dǎo)致中標(biāo)后無法履行合同的被責(zé)令停產(chǎn)停業(yè)、財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)、破產(chǎn)狀態(tài)；
（3）財(cái)務(wù)狀況及資信
近三年財(cái)務(wù)和資信狀況良好。沒有財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)或處于破產(chǎn)狀態(tài)。應(yīng)提供銀行出具的資信證明、納稅人資格證明。

（4）投標(biāo)人近36個(gè)月內(nèi)(含，自投標(biāo)截止日起往前推算)不存在騙取中標(biāo)、嚴(yán)重違約及因自身的責(zé)任而使任何合同被解除的情形；
（5）單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在控股、管理關(guān)系的不同單位不得在同一標(biāo)段投標(biāo)；

專用資格條件
資質(zhì)要求
投標(biāo)人必須是在中華人民共和國市場監(jiān)管部門注冊的，具有獨(dú)立法人和一般納稅人資格的真空蒸鍍設(shè)備制造企業(yè)或代理企業(yè)。代理企業(yè)必須提供真空蒸鍍設(shè)備制造企業(yè)出具的有效授權(quán)書。同一貨物/產(chǎn)品（同一品牌、同一型號(hào)）只能有一家投標(biāo)人。如為代理商投標(biāo)，一個(gè)制造商對同一品牌、同一型號(hào)的貨物，僅能委托一個(gè)代理商參加投標(biāo)，否則相關(guān)投標(biāo)均做無效處理。

業(yè)績要求
投標(biāo)人應(yīng)具有近3年內(nèi)（自投標(biāo)截止日起往前推算，以竣工驗(yàn)收時(shí)間為準(zhǔn)）完成至少3臺(tái)及以上同類型和功能的有效加工幅面不小于30mm*30mm蒸鍍設(shè)備供貨業(yè)績?！拘杼峁┖贤瑥?fù)印件（包括合同首頁、承包范圍、簽字頁）、竣工證明（竣工驗(yàn)收證明或業(yè)主出具的證明文件或其他有效證明資料）】