甬江實驗室采購雙槍電子束蒸發系統和多腔多靶磁控濺射系統項目國際招標公告
項目編號 : CBNB-20262045
公布日期 : 2026-02-11
受招標人委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2026-02-11在 公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:甬江實驗室因發展需要，需采購雙槍電子束蒸發系統和多腔多靶磁控濺射系統各1套。資金到位或資金來源落實情況:項目所需資金已經落實。項目已具備招標條件的說明:項目已具備招標條件。2、招標內容招標項目編號:0762-2640CBNB2002招標項目名稱:甬江實驗室采購雙槍電子束蒸發系統和多腔多靶磁控濺射系統項目項目實施地點:中國浙江省招標產品列表(主要設備):
| 序號 | 產品名稱 | 數量 | 簡要技術規格 | 備注 |
| 1 | 雙槍電子束蒸發系統 | 1套 | 雙槍電子束蒸發系統配置2套電子槍和2套坩堝，在冷泵的作用下達到高真空狀態，可用于單金屬或者合金薄膜的蒸發，最大支持8英寸晶圓襯底，兼容2英寸、4英寸和6英寸襯底。 | / |
| 2 | 多腔多靶磁控濺射系統 | 1套 | 多腔多靶磁控濺射系統設備主要包括進樣傳送系統，真空系統、 鍍膜工藝系統、輔助工藝系統和工藝控制系統等組成。 | / |
3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業績:投標人必須是投標產品（雙槍電子束蒸發系統、多腔多靶磁控濺射系統）的制造商或投標產品的制造商授權的代理商，如為代理商需提供制造商針對本項目的授權書。是否接受聯合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
備注：您的權限不能瀏覽詳細內容,非正式會員請聯系辦理會員入網注冊事宜，并繳費成為正式會員后登錄網站會員區可查看招標公告、招名方式或下載報名表格等詳細內容！為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內容為準。
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來源：中國電力招標采購網?編輯：cbbiddin