8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之立式合金爐、立式氧化爐、立式退火爐國際招標公告(1)

中國儀器進出口集團 對下列產(chǎn)品及服務(wù)進行國際公開競爭性招標，于2024-03-29在公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式，現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:設(shè)備名稱：立式合金爐設(shè)備數(shù)量：1臺設(shè)備用途：用于器件加工中的合金工藝。設(shè)備名稱：立式氧化爐設(shè)備數(shù)量：2臺設(shè)備用途：用于器件加工中的高溫氧化工藝。設(shè)備名稱：立式退火爐設(shè)備數(shù)量：2臺設(shè)備用途：用于器件加工中的高溫退火工藝。資金到位或資金來源落實情況:資金已到位項目已具備招標條件的說明:已具備2、招標內(nèi)容招標項目編號:0709-244035614022招標項目名稱:8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之立式合金爐、立式氧化爐、立式退火爐項目實施地點:中國安徽省招標產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡要技術(shù)規(guī)格	備注
1	立式合金爐	1套	適用晶圓尺寸：8吋，notch，厚度350μm~900μm； 工藝溫度：400℃~600℃（N2）；400℃~500℃（H2）； 控溫精度：≤±1℃ 穩(wěn)定工作時間：≤±1℃/24h；
	立式氧化爐	2套	適用晶圓尺寸：8吋，notch，厚度350 μm~1450 μm； 工藝溫度：800℃~1150℃； 控溫精度：≤±0.5℃； 穩(wěn)定工作時間：≤±0.5℃/24h；
	立式退火爐	2套	工藝溫度：800℃~1150℃ 控溫精度：≤±0.5℃ 穩(wěn)定工作時間≤±0.5℃/24h

3、投標人資格要求投標人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:（1）投標人是響應(yīng)招標、已在招標人或招標機構(gòu)處領(lǐng)購招標文件并參加投標競爭的法人或其他組織。任何未在招標人或招標機構(gòu)處領(lǐng)購招標文件的法人或其他組織均不得參加投標。（2）凡是來自中華人民共和國或是與中華人民共和國有正常貿(mào)易往來的國家或地區(qū)的法人或其他組織均可投標。（3）與招標人存在利害關(guān)系可能影響招標公正性的法人或其他組織不得參加投標。（4）接參與項目前期咨詢和招標文件編制的法人或其他組織不得參加一家代理商參與本項目投標。同一品牌的制造商和代理商不能同時參加本項目的投標。（11）投標人可以是設(shè)備制造廠家或設(shè)備授權(quán)代理商，代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書；并且具有設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力。（12）投標人可以是設(shè)備制造廠家或設(shè)備再制造廠商，也可以是設(shè)備授權(quán)代理商，代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書；并且具有設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力。要求2020年至今同類型設(shè)備出貨量與驗收數(shù)量大于10臺，國產(chǎn)設(shè)備與再制造廠商提供合同和驗收材料，進口全新設(shè)備出具蓋章的業(yè)績說明材料。是否接受聯(lián)合體投標:不接受未領(lǐng)購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
未曾在中國電力招標采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應(yīng)先注冊。登錄成功后根據(jù)招標公告的相說明下載投標文件！

項目 聯(lián)系人：李楊  
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備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費后，查看項目業(yè)主，招標公告，中標公示等，并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內(nèi)容為準，以招標業(yè)主的解答為準本。

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