甬江實(shí)驗(yàn)室采購ICPCVD(電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積)設(shè)備項(xiàng)目（重招）國際招標(biāo)公告(2)

對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競(jìng)爭性招標(biāo)，于2024-04-28在公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。1、招標(biāo)條件項(xiàng)目概況:甬江實(shí)驗(yàn)室因發(fā)展需要，需采購ICPCVD（電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積）設(shè)備1套。資金到位或資金來源落實(shí)情況:項(xiàng)目所需資金已經(jīng)落實(shí)。項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說明:項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。2、招標(biāo)內(nèi)容招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào):0762-2441CBNB2011招標(biāo)項(xiàng)目名稱:甬江實(shí)驗(yàn)室采購ICPCVD(電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積)設(shè)備項(xiàng)目（重招）項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國浙江省招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號(hào)	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡要技術(shù)規(guī)格	備注
1	ICPCVD（電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積）設(shè)備	1套	ICPCVD（電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積）是利用ICP等離子源，增加等離子濃度，以實(shí)現(xiàn)在較低的溫度沉積高致密性介質(zhì)薄膜，如SiO2, SiNx等，用于微納器件的鈍化、介電、填充等功能。主要用于低溫沉積高致密性介質(zhì)薄膜材料如SiO2，SiNx等用于微納器件，微納光學(xué)器件，功率器件的鈍化層、介電層等。

3、投標(biāo)人資格要求投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:投標(biāo)人必須是投標(biāo)產(chǎn)品的制造商或投標(biāo)產(chǎn)品的制造商授權(quán)的代理商，如為代理商需提供制造商針對(duì)本項(xiàng)目的授權(quán)書是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受未領(lǐng)購招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以4、
未曾在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先注冊(cè)。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說明下載投標(biāo)文件！

項(xiàng)目 聯(lián)系人：李楊  
咨詢電話：010-51957458 
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