中國(guó)儀器進(jìn)出口集團(tuán) 對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2024-05-11在公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。1、招標(biāo)條件項(xiàng)目概況:設(shè)備名稱：多靶濺射機(jī)設(shè)備數(shù)量：1臺(tái)設(shè)備用途：該設(shè)備主要用于硅平面、介質(zhì)層及金屬層表面Ti、Au、Pt、Cr等粘附層、阻擋層、與種子層的磁控濺射工藝，以及需要采用shadow mask濺射工藝來(lái)制備PAD、鏡面等。資金到位或資金來(lái)源落實(shí)情況:資金已到位項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說(shuō)明:已具備2、招標(biāo)內(nèi)容招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào):0709-244035614025招標(biāo)項(xiàng)目名稱:8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之多靶濺射機(jī)（重新招標(biāo)）項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國(guó)安徽省招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
3、投標(biāo)人資格要求投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績(jī):（1）投標(biāo)人是響應(yīng)招標(biāo)、已在招標(biāo)人或招標(biāo)機(jī)構(gòu)處領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件并參加投標(biāo)競(jìng)爭(zhēng)的法人或其他組織。任何未在招標(biāo)人或招標(biāo)機(jī)構(gòu)處領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件的法人或其他組織均不得參加投標(biāo)。（2）凡是來(lái)自中華人民共和國(guó)或是與中華人民共和國(guó)有正常貿(mào)易往來(lái)的國(guó)家或地區(qū)的法人或其他組織均可投標(biāo)。（3）與招標(biāo)人存在利害關(guān)系可能影響招標(biāo)公正性的法人或其他組織不得參加投標(biāo)。（4）接參與項(xiàng)目前期咨詢和招標(biāo)文件編制的法人或其他組織不得參加一家代理商參與本項(xiàng)目投標(biāo)。同一品牌的制造商和代理商不能同時(shí)參加本項(xiàng)目的投標(biāo)。（11）投標(biāo)人可以是設(shè)備制造廠家或設(shè)備授權(quán)代理商，代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書；并且具有設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力。（12）投標(biāo)人可以是設(shè)備制造廠家或設(shè)備再制造廠商，也可以是設(shè)備授權(quán)代理商，代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書；并且具有設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力。要求2020年至今同類型設(shè)備出貨量與驗(yàn)收數(shù)量大于【5】臺(tái)，國(guó)產(chǎn)設(shè)備與再制造廠商提供合同和驗(yàn)收材料，進(jìn)口全新設(shè)備出具蓋章的業(yè)績(jī)說(shuō)明材料。是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受未領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以4、
未曾在中國(guó)電力招標(biāo)采購(gòu)網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先注冊(cè)。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說(shuō)明下載投標(biāo)文件！
項(xiàng)目 聯(lián)系人：李楊
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備注：欲購(gòu)買招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人,注冊(cè)網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費(fèi)后，查看項(xiàng)目業(yè)主，招標(biāo)公告，中標(biāo)公示等，并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，招標(biāo)清單，報(bào)名申請(qǐng)表等。為保證您能夠順利投標(biāo)，具體要求及購(gòu)買標(biāo)書操作流程按公告詳細(xì)內(nèi)容為準(zhǔn)，以招標(biāo)業(yè)主的解答為準(zhǔn)本。
編輯：chinabidding.co
| 序號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)量 | 簡(jiǎn)要技術(shù)規(guī)格 | 備注 |
| 1 | 多靶濺射機(jī) | 1套 | 機(jī)臺(tái)規(guī)格為全新機(jī)臺(tái)，適用晶圓尺寸：8英寸，notch，基片托盤：≥10個(gè)，預(yù)真空室可裝載至少10個(gè)基片托盤，每個(gè)基片托盤可裝載1片基片； 設(shè)備配置：磁控陰極≥4個(gè)，陰極靶材尺寸≥6英寸；具有Loadlock（裝載模塊）；傳輸模塊裝有機(jī)械手，可實(shí)現(xiàn)晶圓在Loadlock（裝載模塊）和工藝模塊之間的傳輸；具備反濺清洗功能及加熱除氣功能； 高真空腔室：配置腔室防污罩（Processkits）4套以上，以及配備觀察窗； |
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