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          8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之多晶硅、硅刻蝕機國際招標公告(1)

             日期:2025-04-24     來源:中國電力招標采購網(wǎng)    作者:dlztb    
          核心提示:蘇美達國際技術貿易 對下列產(chǎn)品及服務進行國際公開競爭性招標,于2025-04-24在公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式,現(xiàn)邀請合格投標
          蘇美達國際技術貿易 對下列產(chǎn)品及服務進行國際公開競爭性招標,于2025-04-24在公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式,現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:設備名稱:多晶硅、硅刻蝕機 數(shù)量:1臺設備原理及用途:基本原理:在射頻電壓的作用下,溴化氫和氯氣產(chǎn)生的等離子體和多晶硅反應生成四氯化硅和溴化硅,溴化氫同時有側壁淀積作用,防止側腐,生成物被抽出腔體,最終達到刻蝕的目的。用途:本設備為全新設備,主要用于8英寸MEMS器件各種產(chǎn)品生產(chǎn)中多晶硅導線、硅晶圓標記和硅淺槽的刻蝕工藝。資金到位或資金來源落實情況:已到位項目已具備招標條件的說明:已具備2、招標內容招標項目編號:0664-2540SUMECA83/03招標項目名稱:8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之多晶硅、硅刻蝕機項目實施地點:中國安徽省招標產(chǎn)品列表(主要設備):
          序號 產(chǎn)品名稱 數(shù)量 簡要技術規(guī)格備注
          1 多晶硅、硅刻蝕機 1 該設備主要由主控制系統(tǒng),全自動傳輸系統(tǒng),1個刻蝕工藝腔,尾氣處理系統(tǒng)以及相應的射頻系統(tǒng),氣路系統(tǒng),制冷系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等模塊組成。設備按照滿配來配置相關氣管、Cable、電磁閥、pμmp liner和gas liner等,便于未來增加工藝腔體(設備主體需要至少保留增加2個工藝腔的ai、ao、di/o、stepper等)。其他參數(shù)詳見第八章
          3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業(yè)績:①投標人如為境內企業(yè),提供企業(yè)法人營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書,如為境外企業(yè)提供企業(yè)注冊登記證。②投標人可以是設備制造廠家,也可以是設備授權代理商,代理商需有設備原廠家的有效授權書。③投標人開戶行開具的,出具日期在開標前三個月內的資信證明原件或該原件的復印件。④投標人需要具有履行合同所必需的設備技術支持和服務能力(提供相關證明材料或承諾書,承諾書格式自擬)。⑤單位負責人授權書原件。是否接受聯(lián)合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
          未曾在中國電力招標采購網(wǎng)(www.dlztb.com)上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據(jù)招標公告的相說明下載投標文件!

          項目 聯(lián)系人:李楊  
          咨詢電話:010-51957458 
          傳真:010-51957412 
          手機:13683233285 
          QQ:1211306049 
          微信:Li13683233285 郵箱:1211306049@qq.com

          備注:欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術服務費后,查看項目業(yè)主,招標公告,中標公示等,并下載資格預審范圍,資質要求,招標清單,報名申請表等。為保證您能夠順利投標,具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內容為準,以招標業(yè)主的解答為準本。

          編輯:chinabidding.co
           
           
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