1. 招標條件
本招標項目12英寸非接觸式光刻機 該項目已具備招標條件，現(xiàn)對12英寸非接觸式光刻機進行國內(nèi)公開招標。2. 項目概況與招標范圍
2.1 招標編號：ZKX20250915A008 2.2 招標項目名稱：12英寸非接觸式光刻機。 2.3 數(shù)量：1套。 2.4 核心技術指標： 2.4.1 曝光光源：汞燈（i線） 2.4.2 最大光刻面積：≥8英寸 2.4.3 分辨率：優(yōu)于0.5μm (正性光刻膠厚度1um) 2.4.4 套刻精度：優(yōu)于±350nm @ 8英寸 2.4.5 曝光時間：≤120s @300mj（8英寸全片超過1.4億個多邊形結(jié)構(gòu)） 2.4.6 掩模版下表面與芯片上表面之間距離不小于10mm 2.5 設備要求：非進口設備、全新、完整、未使用過 2.6 交貨 2.7 交貨期：合同生效后5個月內(nèi)。3. 投標人資格要求
3.1 投標人須具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。 3.2本次招標不接受代理商投標。 3.3本次招標不接受聯(lián)合體投標。 3.4其他要求：授權(quán)代表須提供投標截止時間前最近6個月中任意1個月社保證明文件（如果委托代理人的社保不是投標人繳納，需要提供委托代理人和投標人之間的用工合同，投標人委托第三方投保的有效合同證明）。 3.5投標人必須向招標代理機構(gòu)4.
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編輯：365trade