高深寬比介質(zhì)刻蝕機(jī)國際招標(biāo)公告(1)

蘇美達(dá)國際技術(shù)貿(mào)易 對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2025-07-25在公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。1、招標(biāo)條件項(xiàng)目概況:設(shè)備名稱：高深寬比介質(zhì)刻蝕機(jī)數(shù)量：1臺(tái)設(shè)備原理及用途：基本原理：在射頻電壓的作用下，碳氟類氣體產(chǎn)生的等離子體，和二氧化硅反應(yīng)生成SiF4,生成物被抽出腔體最終達(dá)到刻蝕的目的。用途：主要用于高深寬比介質(zhì)刻蝕工藝。資金到位或資金來源落實(shí)情況:已到位項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說明:已具備2、招標(biāo)內(nèi)容招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào):0664-2540SUMECA83/18招標(biāo)項(xiàng)目名稱:高深寬比介質(zhì)刻蝕機(jī)項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國安徽省招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號(hào)	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡要技術(shù)規(guī)格	備注
1	高深寬比介質(zhì)刻蝕機(jī)	1	該設(shè)備主要由主控制系統(tǒng)，全自動(dòng)傳輸系統(tǒng)，1個(gè)刻蝕工藝腔，尾氣處理系統(tǒng)以及相應(yīng)的射頻系統(tǒng)，氣路系統(tǒng)，制冷系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等模塊組成。其他參數(shù)詳見第八章	無

3、投標(biāo)人資格要求投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:①投標(biāo)人如為境內(nèi)企業(yè)，提供企業(yè)法人營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書，如為境外企業(yè)提供企業(yè)注冊(cè)登記證。②投標(biāo)人可以是設(shè)備制造廠家，也可以是設(shè)備授權(quán)代理商，代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書。③投標(biāo)人開戶行開具的，出具日期在開標(biāo)前三個(gè)月內(nèi)的資信證明原件或該原件的復(fù)印件。④投標(biāo)人需要具有履行合同所必需的設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力（提供相關(guān)證明材料或承諾書，承諾書格式自擬）。⑤單位負(fù)責(zé)人授權(quán)書原件。是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受未領(lǐng)購招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以4、
未曾在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先注冊(cè)。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說明下載投標(biāo)文件！

項(xiàng)目 聯(lián)系人：李楊  
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