招標公告

1. 招標條件

本招標項目涂膠顯影機及關鍵零部件 該項目已具備招標條件，現對涂膠顯影機及關鍵零部件采購進行國內公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1招標編號：C1100000096014753011

2.2 項目編號： C1100000096014753   內部編號：ZKX20250714A002

2.3 招標項目名稱：涂膠顯影機及關鍵零部件。

2.4 數量：1套。

2.5 主要功能要求：

涂膠顯影機（含配套設備）配置6寸、8寸兼容的2個涂膠單元和2個顯影單元（2C2D）模塊，且需與0.13μm光刻機進行Inline通線運行；配置2寸、3寸、4寸兼容的涂膠單元和2個顯影單元（1C2D）模塊，offline工作。配置的涂膠單元要求能夠實現在晶圓上各類光刻膠的高均勻自動涂膠，且具備去邊膠、背面清洗、增粘等功能；配置的顯影單元可實現各類光刻膠的高均勻自動顯影，且具有噴淋顯影、浸泡顯影、背洗等各種可編輯顯影模式；配置高控溫精度熱板和冷板單元，用于涂膠后烘膠和冷卻工藝；各單元之間配置機械臂，要求3寸、4寸、6寸、8寸晶圓可自動傳片。

2.6 交貨

2.7 交貨期：合同生效后10個月內。

3. 投標人資格要求

3.1投標人須具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織，具備有效的營業執照或事業單位法人證書或其它營業登記證書。

3.2 資質要求：/。

3.3 財務要求：投標人應具有健全的財務制度，投標人為企業單位的，應提供近3年（2022年至2024年）經會計師事務所或審計機構審計的財務會計報表，成立不足3年的，可提供成立以來的經審計的財務會計報表。上述財務會計報表至少應包括審計報告正文（由會計師事務所出具的審計報告必須由會計師事務所蓋章、注冊會計師簽名和蓋章，未經簽字蓋章的審計報告視為無效審計報告，將被否決）、資產負債表、現金流量表、利潤表的復印件，缺一不可。投標人的成立時間少于上述規定年份的，應提供成立以來的財務狀況表。投標人為事業單位的，不作要求。

3.4 業績要求：投標人應提供至少1份2023年1月1日至今已簽訂的本次招標類似產品供貨業績，提供合同復印件，合同內容應能體現甲乙雙方蓋章頁、合同簽訂或生效時間、標的物名稱（如有必要提供對應技術協議或技術規格書）等主要內容，未按上述要求提供的業績證明均不予認可。

3.5 其它要求：本項目不接受代理商投標

3.6本次招標不接受聯合體投標。

3.7 投標人必須向招標代理機構

4.

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編輯：365trade