招標公告

1. 招標條件

本招標項目涂膠顯影機及關(guān)鍵零部件 該項目已具備招標條件，現(xiàn)對涂膠顯影機及關(guān)鍵零部件采購進行國內(nèi)公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1招標編號：C1100000096014753011

2.2 項目編號： C1100000096014753   內(nèi)部編號：ZKX20250714A002

2.3 招標項目名稱：涂膠顯影機及關(guān)鍵零部件。

2.4 數(shù)量：1套。

2.5 主要功能要求：

涂膠顯影機（含配套設(shè)備）配置6寸、8寸兼容的2個涂膠單元和2個顯影單元（2C2D）模塊，且需與0.13μm光刻機進行Inline通線運行；配置2寸、3寸、4寸兼容的涂膠單元和2個顯影單元（1C2D）模塊，offline工作。配置的涂膠單元要求能夠?qū)崿F(xiàn)在晶圓上各類光刻膠的高均勻自動涂膠，且具備去邊膠、背面清洗、增粘等功能；配置的顯影單元可實現(xiàn)各類光刻膠的高均勻自動顯影，且具有噴淋顯影、浸泡顯影、背洗等各種可編輯顯影模式；配置高控溫精度熱板和冷板單元，用于涂膠后烘膠和冷卻工藝；各單元之間配置機械臂，要求3寸、4寸、6寸、8寸晶圓可自動傳片。

2.6 交貨

2.7 交貨期：合同生效后10個月內(nèi)。

3. 投標人資格要求

3.1投標人須具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。

3.2 資質(zhì)要求：/。

3.3 財務要求：投標人應具有健全的財務制度，投標人為企業(yè)單位的，應提供近3年（2022年至2024年）經(jīng)會計師事務所或?qū)徲嫏C構(gòu)審計的財務會計報表，成立不足3年的，可提供成立以來的經(jīng)審計的財務會計報表。上述財務會計報表至少應包括審計報告正文（由會計師事務所出具的審計報告必須由會計師事務所蓋章、注冊會計師簽名和蓋章，未經(jīng)簽字蓋章的審計報告視為無效審計報告，將被否決）、資產(chǎn)負債表、現(xiàn)金流量表、利潤表的復印件，缺一不可。投標人的成立時間少于上述規(guī)定年份的，應提供成立以來的財務狀況表。投標人為事業(yè)單位的，不作要求。

3.4 業(yè)績要求：投標人應提供至少1份2023年1月1日至今已簽訂的本次招標類似產(chǎn)品供貨業(yè)績，提供合同復印件，合同內(nèi)容應能體現(xiàn)甲乙雙方蓋章頁、合同簽訂或生效時間、標的物名稱（如有必要提供對應技術(shù)協(xié)議或技術(shù)規(guī)格書）等主要內(nèi)容，未按上述要求提供的業(yè)績證明均不予認可。

3.5 其它要求：本項目不接受代理商投標

3.6本次招標不接受聯(lián)合體投標。

3.7 投標人必須向招標代理機構(gòu)

4.

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編輯：365trade