投標邀請
全自動硅硅鍵合機項目已具備招標條件，招標項目資金已落實。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。 1. 招標范圍 1.1 貨物名稱：全自動硅硅鍵合機 1.2 招標編號：0779-26400341A003 1.3項目概況： 全自動硅硅鍵合機用于量子傳感、硅光、MEMS等芯片的晶圓級密封封裝工藝，在室溫下依次對晶圓片進行等離子體表面活化和水洗甩干，經(jīng)過親水性處理的晶圓表面會形成足夠多的羥基，吸附水分子，當兩個晶圓距離足夠接近時，會在羥基、水分子間的范德華力作用下相互接觸并預鍵合到一起，再進行退火處理，使界面發(fā)生羥基聚合反應形成Si-O-Si鍵，增強鍵合強度；更多指標詳見第八章技術規(guī)格。 關鍵技術參數(shù)： 適用于6英寸晶圓，并可擴展至8英寸； 多模塊多腔室組合，包括等離子活化、水清洗、光學對準、鍵合等處理模式； Mark鍵合對準精度：≤±2μm； 更多技術指標詳見第八章。 1.4 數(shù)量：1臺。 1.5 交貨期：合同簽訂生效后8個月內交貨。 1.6 項目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。 2. 對投標人的資格要求 2.1 投標人必須是響應招標的法人或其他組織，具有獨立承擔民事責任能力。 2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書。授權書包括制造商直接開具的；或制造商的獨資公司開具的（同時須提供制造商與獨資子公司的關系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。 2.3本項目不接受聯(lián)合體投標。 2.4投標人必須向招標代理機構 3. 招標文件獲取 3.1 如有疑問，請致電中航工業(yè) 服務熱線400-890-0880。 3.2 招標文件售價人民幣800元或112美元，售后款項不予退還。潛在投標人應通過本鏈接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標文件費用，支付后請自行提交電子發(fā)票申請(需再次進入鏈接點擊消費記錄后填寫開票信息)，電子發(fā)票將自動發(fā) 潛在投標人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺，經(jīng)招標人(代理機構)確認后，才能獲得招標文件的下載權限。 3.3 投標人必須在中航工業(yè) 注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見中航工業(yè) 相關說明）。 4.未在中國電力招標采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應先點擊注冊。登錄成功后的在招標會員區(qū)根據(jù)招標公告的相應說明獲取招標文件！
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來源：中國電力招標采購網(wǎng)
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編輯：365trade