等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備項目已具備招標(biāo)條件。資金情況已落實。中科信工程咨詢（北京） （招標(biāo)代理機構(gòu)）受西安飛行自動控制研究所（招標(biāo)人）的委托，對該項目進行國際公開招標(biāo)采購。
1. 招標(biāo)范圍
1.1 貨物名稱：等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備
1.2 招標(biāo)編號：0779-26400341A009
1.3 項目概況
設(shè)備通過感應(yīng)耦合等離子體方式（ICP）產(chǎn)生高密度等離子體，在硅及化合物半導(dǎo)體等襯底上沉積高質(zhì)量的介質(zhì)薄膜（例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等）。
設(shè)備主要指標(biāo)：
（1）樣品尺寸：最大6英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規(guī)則碎片，不同尺寸樣片之間的切換、無需反應(yīng)腔室的開腔破真空；
（2）反應(yīng)腔室本底真空≤ 1E-6 mbar，真空漏率≤ 2E-4 mbar·L/s；
（3）溫度控制：采用背氦傳熱的動態(tài)溫度控制系統(tǒng)，溫度控制范圍不小于 +30℃~+300℃，溫度控制精度≤±1℃。
更多技術(shù)指標(biāo)詳見第八章。
1.4 數(shù)量：1套。
1.5 交貨期：合同簽訂生效后8個月內(nèi)到達用戶現(xiàn)場。
1.6 項目現(xiàn)場：西安飛行自動控制研究所指定地點。
2. 對投標(biāo)人的資格要求
2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織，具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任能力。
2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直接開具的；或制造商的獨資公司開具的（同時須提供制造商與獨資子公司的關(guān)系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。
2.3投標(biāo)人所投標(biāo)設(shè)備2023年1月1日至今同品牌同型號的銷售量≥3套，提供設(shè)備銷售業(yè)績證明（提供有效合同首頁，技術(shù)協(xié)議及驗收報告等證明材料，證明材料需有雙方蓋章）
2.4本項目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
2.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機構(gòu)
3. 招標(biāo)文件獲取
3.1 如有疑問，請致電中航工業(yè)電子采購平臺服務(wù)熱線400-890-0880。
3.2 招標(biāo)文件售價人民幣800元或112美元，售后款項不予退還。潛在投標(biāo)人應(yīng)通過本鏈接: k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標(biāo)文件費用，支付后請自行提交電子發(fā)票申請(需再次進入鏈接點擊消費記錄后填寫開票信息)，電子發(fā)票將自動發(fā) 潛在投標(biāo)人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺，經(jīng)招標(biāo)人(代理機構(gòu))確認(rèn)后，才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。
3.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè)電子采購平臺注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標(biāo)。（詳見中航工業(yè)電子采購平臺相關(guān)說明）。
4.
未在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應(yīng)先點擊注冊。登錄成功后的在 招標(biāo)會員 區(qū)根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說明獲取招標(biāo)文件！
咨詢電話：010-51957458
手 機：18811547188
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來源：中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)
備注：欲購買招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)及商務(wù)信息服務(wù)費后，查看項目業(yè)主，招標(biāo)公告并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，
招標(biāo)清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標(biāo)，具體要求及購買標(biāo)書操作流程按會員區(qū)招標(biāo)信息詳細內(nèi)容為準(zhǔn)。
編輯：hnjmrh.gov