鈮酸鋰光波導刻蝕機項目已具備招標條件。資金情況已落實。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受中國航空工業集團公司西安飛行自動控制研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。
1. 招標范圍
1.1 貨物名稱：鈮酸鋰光波導刻蝕機
1.2 招標編號：0779-26400341A013
1.3 項目概況
主要用于鈮酸鋰基片及薄膜的高精度刻蝕，通過等離子體刻蝕技術在鈮酸鋰材料表面形成高深寬比、高垂直度的微納結構，支持電子束光刻膠等掩模方式，滿足光波導器件的精密加工需求。
設備主要指標：
（1）刻蝕反應腔室具備加熱功能，加熱溫度≥50℃，加熱區域包括腔體壁、真空管道、閥、防著板等，防著板加熱溫度≥200℃；
（2）上電極采用感應耦合等離子體源，功率≥2000W，頻率≤13.56MHz，可以調節等離子體分布范圍，配置自動匹配單元，匹配時間≤3秒，反射功率≤1%；
（3）下電極配置偏壓射頻源，功率≥1000W，頻率≥12.5MHz，配備自動匹配單元，匹配時間≤3秒，反射功率≤1%（輸出功率≥300W）或≤2W（輸出功率≤300W）。
更多技術指標詳見第八章。
1.4 數量：1套。
1.5 交貨期：合同簽訂后2個月內到貨驗收。
1.6 項目現場：中國航空工業集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。
2. 對投標人的資格要求
2.1 投標人必須是響應招標的法人或其他組織，具有獨立承擔民事責任能力。
2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書。授權書包括制造商直接開具的；或制造商的獨資公司開具的（同時須提供制造商與獨資子公司的關系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。
2.3投標人或制造商2022年1月1日至今同品牌同型號的銷售量≥3套，提供設備銷售業績證明（提供有效的合同首頁、技術協議及驗收報告等證明材料復印件）。
2.4本項目不接受聯合體投標。
2.5投標人必須向招標代理機構
3. 招標文件獲取
3.1 潛在投標人將付款憑證（形式不限）和發票上傳交易平臺，經招標人(代理機構)確認后，才能獲得招標文件的下載權限。
3.3 投標人必須在中航工業電子采購平臺注冊，辦理CA數字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見中航工業電子采購平臺相關說明）。
4.
未在中國電力招標采購網（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應先點擊注冊。登錄成功后的在 招標會員 區根據招標公告的相應說明獲取招標文件！
咨詢電話：010-51957458
手 機：18811547188
聯系人：李楊
QQ:1211306049
微信：Li18811547188
郵箱：1211306049@qq.com
來源：中國電力招標采購網
備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術及商務信息服務費后，查看項目業主，招標公告并下載資格預審范圍，資質要求，
招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按會員區招標信息詳細內容為準。
編輯：ebid.eavic