鈮酸鋰光波導(dǎo)刻蝕機(jī)項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。資金情況已落實(shí)。中科信工程咨詢（北京） （招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)）受西安飛行自動(dòng)控制研究所（招標(biāo)人）的委托，對該項(xiàng)目進(jìn)行國際公開招標(biāo)采購。
1. 招標(biāo)范圍
1.1 貨物名稱：鈮酸鋰光波導(dǎo)刻蝕機(jī)
1.2 招標(biāo)編號(hào)：0779-26400341A013
1.3 項(xiàng)目概況
主要用于鈮酸鋰基片及薄膜的高精度刻蝕，通過等離子體刻蝕技術(shù)在鈮酸鋰材料表面形成高深寬比、高垂直度的微納結(jié)構(gòu)，支持電子束光刻膠等掩模方式，滿足光波導(dǎo)器件的精密加工需求。
設(shè)備主要指標(biāo)：
（1）刻蝕反應(yīng)腔室具備加熱功能，加熱溫度≥50℃，加熱區(qū)域包括腔體壁、真空管道、閥、防著板等，防著板加熱溫度≥200℃；
（2）上電極采用感應(yīng)耦合等離子體源，功率≥2000W，頻率≤13.56MHz，可以調(diào)節(jié)等離子體分布范圍，配置自動(dòng)匹配單元，匹配時(shí)間≤3秒，反射功率≤1%；
（3）下電極配置偏壓射頻源，功率≥1000W，頻率≥12.5MHz，配備自動(dòng)匹配單元，匹配時(shí)間≤3秒，反射功率≤1%（輸出功率≥300W）或≤2W（輸出功率≤300W）。
更多技術(shù)指標(biāo)詳見第八章。
1.4 數(shù)量：1套。
1.5 交貨期：合同簽訂后2個(gè)月內(nèi)到貨驗(yàn)收。
1.6 項(xiàng)目現(xiàn)場：西安飛行自動(dòng)控制研究所指定地點(diǎn)。
2. 對投標(biāo)人的資格要求
2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織，具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力。
2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直接開具的；或制造商的獨(dú)資公司開具的（同時(shí)須提供制造商與獨(dú)資子公司的關(guān)系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。
2.3投標(biāo)人或制造商2022年1月1日至今同品牌同型號(hào)的銷售量≥3套，提供設(shè)備銷售業(yè)績證明（提供有效的合同首頁、技術(shù)協(xié)議及驗(yàn)收報(bào)告等證明材料復(fù)印件）。
2.4本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
2.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)
3. 招標(biāo)文件獲取
3.1 如有疑問，請致電中航工業(yè)電子采購平臺(tái)服務(wù)熱線400-890-0880。
3.2 招標(biāo)文件售價(jià)人民幣800元或112美元，售后款項(xiàng)不予退還。潛在投標(biāo)人應(yīng)通過本鏈接: k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標(biāo)文件費(fèi)用，支付后請自行提交電子發(fā)票申請(需再次進(jìn)入鏈接點(diǎn)擊消費(fèi)記錄后填寫開票信息)，電子發(fā)票將自動(dòng)發(fā) 潛在投標(biāo)人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺(tái)，經(jīng)招標(biāo)人(代理機(jī)構(gòu))確認(rèn)后，才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。
3.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè)電子采購平臺(tái)注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標(biāo)。（詳見中航工業(yè)電子采購平臺(tái)相關(guān)說明）。
4.
未在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊會(huì)員的單位應(yīng)先點(diǎn)擊注冊。登錄成功后的在 招標(biāo)會(huì)員 區(qū)根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說明獲取招標(biāo)文件！
咨詢電話：010-51957458
手 機(jī)：18811547188
聯(lián)系人：李楊
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來源：中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)
備注：欲購買招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)及商務(wù)信息服務(wù)費(fèi)后，查看項(xiàng)目業(yè)主，招標(biāo)公告并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，
招標(biāo)清單，報(bào)名申請表等。為保證您能夠順利投標(biāo)，具體要求及購買標(biāo)書操作流程按會(huì)員區(qū)招標(biāo)信息詳細(xì)內(nèi)容為準(zhǔn)。
編輯：hnjmrh.gov