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          深硅刻蝕機-公開招標公告

             日期:2024-11-22     來源:中國電力招標采購網    作者:dlztb    
          核心提示:招標公告深硅刻蝕機項目已具備招標條件。資金來源自籌資金,出資比例共為100%。中科信工程咨詢(北京) (招標代理機構)受淮海

          招標公告

          深硅刻蝕機項目已具備招標條件。資金來源自籌資金,出資比例共為100%。中科信工程咨詢(北京) (招標代理機構)受淮海工業集團 (招標人)的委托,對該項目進行國際公開招標采購。

          1. 招標范圍

          1.1 貨物名稱:深硅刻蝕機

          1.2 招標編號:0779-24400724A005

          1.3設備技術要求:

          1)設備配有1套深硅刻蝕工藝腔室,主要包括主機、加熱系統、冷卻系統、真空系統、靜電吸盤、手臂傳輸腔室、射頻源等;

          2)適用工藝類型:硅-玻璃鍵合片和硅片刻蝕;

          3)適用晶圓尺寸:4英寸晶圓;

          4)夾具類型:4英寸靜電吸盤及傳輸手臂;

          5)硅-玻璃鍵合片(硅結構有背腔),在暴露面積≥30%時,刻蝕后表面干凈,無“掉渣”及“長草”現象;

          6)工控系統基于 Windows7 及以下版本的操作系統;

          7) 硅-玻璃鍵合片靜電吸附良好,氨氣壓力10Torr時,氨氣流量≤5sccm。

          1.4 數量:1臺

          1.5 交貨期:合同簽訂后12個月內

          1.6 項目現場:山西省長治市潞州區淮海工業集團 。

          2. 對投標人的資格要求

          2.1 投標人具有獨立法人資格,提供有效的營業登記等許可經營的證明文件。

          2.2本次招標接受代理商投標,代理商應獲得制造商的有效授權,須提供正本(制造商的有效授權書包括制造商直接開具的;或制造商在中華人民共和國關境內的獨資公司開具的;或經制造商授權并允許其再授權的單位開具的)。

          2.3本次招標不接受聯合體投標。

          2.4投標人必須向招標代理機構

          3. 招標

          4.

          未在中國電力招標采購網(www.dlztb.com)上注冊會員的單位應先點擊注冊。登錄成功后的在招標會員區根據招標公告的相應說明獲取招標文件!
          咨詢電話:010-51957458
          手 機:18811547188
          聯系人:李楊
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          來源:中國電力招標采購網
          備注:欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后,查看項目業主,招標公告并下載資格預審范圍,資質要求,招標清單,報名申請表等。為保證您能夠順利投標,具體要求及購買標書操作流程按會員區招標信息詳細內容為準,以招標業主的解答為準本。
          編輯:365trade

           
           
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