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          深硅刻蝕機-公開招標公告

             日期:2024-11-22     來源:中國電力招標采購網(wǎng)    作者:dlztb    
          核心提示:招標公告深硅刻蝕機項目已具備招標條件。資金來源自籌資金,出資比例共為100%。中科信工程咨詢(北京) (招標代理機構(gòu))受淮海

          招標公告

          深硅刻蝕機項目已具備招標條件。資金來源自籌資金,出資比例共為100%。中科信工程咨詢(北京) (招標代理機構(gòu))受淮海工業(yè)集團 (招標人)的委托,對該項目進行國際公開招標采購。

          1. 招標范圍

          1.1 貨物名稱:深硅刻蝕機

          1.2 招標編號:0779-24400724A005

          1.3設(shè)備技術(shù)要求:

          1)設(shè)備配有1套深硅刻蝕工藝腔室,主要包括主機、加熱系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、靜電吸盤、手臂傳輸腔室、射頻源等;

          2)適用工藝類型:硅-玻璃鍵合片和硅片刻蝕;

          3)適用晶圓尺寸:4英寸晶圓;

          4)夾具類型:4英寸靜電吸盤及傳輸手臂;

          5)硅-玻璃鍵合片(硅結(jié)構(gòu)有背腔),在暴露面積≥30%時,刻蝕后表面干凈,無“掉渣”及“長草”現(xiàn)象;

          6)工控系統(tǒng)基于 Windows7 及以下版本的操作系統(tǒng);

          7) 硅-玻璃鍵合片靜電吸附良好,氨氣壓力10Torr時,氨氣流量≤5sccm。

          1.4 數(shù)量:1臺

          1.5 交貨期:合同簽訂后12個月內(nèi)

          1.6 項目現(xiàn)場:山西省長治市潞州區(qū)淮海工業(yè)集團 。

          2. 對投標人的資格要求

          2.1 投標人具有獨立法人資格,提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。

          2.2本次招標接受代理商投標,代理商應(yīng)獲得制造商的有效授權(quán),須提供正本(制造商的有效授權(quán)書包括制造商直接開具的;或制造商在中華人民共和國關(guān)境內(nèi)的獨資公司開具的;或經(jīng)制造商授權(quán)并允許其再授權(quán)的單位開具的)。

          2.3本次招標不接受聯(lián)合體投標。

          2.4投標人必須向招標代理機構(gòu)

          3. 招標

          4.

          未在中國電力招標采購網(wǎng)(www.dlztb.com)上注冊會員的單位應(yīng)先點擊注冊。登錄成功后的在招標會員區(qū)根據(jù)招標公告的相應(yīng)說明獲取招標文件!
          咨詢電話:010-51957458
          手 機:18811547188
          聯(lián)系人:李楊
          QQ:1211306049
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          郵箱:1211306049@qq.com
          來源:中國電力招標采購網(wǎng)
          備注:欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費后,查看項目業(yè)主,招標公告并下載資格預審范圍,資質(zhì)要求,招標清單,報名申請表等。為保證您能夠順利投標,具體要求及購買標書操作流程按會員區(qū)招標信息詳細內(nèi)容為準,以招標業(yè)主的解答為準本。
          編輯:365trade

           
           
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