1. 招標條件
本招標項目氮化硅/硅光波導刻蝕機 該項目已具備招標條件，現對氮化硅/硅光波導刻蝕機采購進行國內公開招標。
2. 項目概況與招標范圍
2.1 招標編號：ZKX20260341A008
2.2 招標項目名稱：氮化硅/硅光波導刻蝕機
2.3 數量：壹套
2.4 設備用途及系統組成：
設備用途：該設備利用高頻電磁場通過感應耦合方式產生高密度等離子體，實現高精度、高選擇性和高深寬比的介質薄膜刻蝕（例如氧化硅、氮化硅、硅等）。
系統組成：氮化硅/硅光波導刻蝕機主要由工藝腔室、等離子體系統、真空系統、氣路系統、傳輸系統及控制系統等組成。
2.5 交貨
2.6 交貨期：合同簽訂后5個月內到貨。
3.投標人資格要求：
3.1 投標人須具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織，具備有效的營業執照或事業單位法人證書或其它營業登記證書。
3.2 本次招標不接受聯合體投標。
3.3 本次招標接受代理商投標，一個制造商對同一品牌同一型號的設備，僅能委托一個代理商參加投標。提供制造商的唯一授權書原件。(本設備指“氮化硅/硅光波導刻蝕機”)
3.4 財務要求：投標人應附2024年經會計師事務所或審計機構審計的財務會計報表，包括審計報告正文、資產負債表、現金流量表、利潤表的復印件。投標人的成立時間少于上述規定年份的，應提供成立以來的財務報表。投標人為科研院所、高等院校等事業單位的可提供經審計的或單位內審的2024年財務報表。
3.5 業績要求：投標人或制造商2022年1月1日至今同品牌同型號的銷售量≥3套，提供設備銷售業績證明（提供有效合同首頁，技術協議及驗收報告等證明材料，證明材料需有雙方蓋章）。
3.6 信譽要求：投標人在經營活動中，無嚴重違法失信記錄，具有良好的信譽。提供相關證明材料（如信用中國或各級信用信息共享平臺的查詢結果）或信譽承諾書。
3.7 投標人必須向招標代理機構