1. 招標(biāo)條件
本招標(biāo)項(xiàng)目高精度無掩膜光刻系統(tǒng) 該項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對(duì)高精度無掩膜光刻系統(tǒng)采購進(jìn)行國內(nèi)公開招標(biāo)。
2. 項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍
2.1 招標(biāo)編號(hào)：ZKX20260341A012
2.2 招標(biāo)項(xiàng)目名稱：高精度無掩膜光刻系統(tǒng)
2.3 數(shù)量：1臺(tái)
2.4 設(shè)備用途及系統(tǒng)組成：
設(shè)備用途：高精度無掩膜光刻系統(tǒng)采用先進(jìn)的數(shù)字光刻技術(shù)，無需掩模版即可直接將圖形轉(zhuǎn)移到涂有光刻膠的襯底上。該設(shè)備具備高套刻精度和高曝光速度的特點(diǎn)，適用于集成光子芯片研發(fā)及量產(chǎn)環(huán)節(jié)中的電極圖形曝光：在快速研發(fā)階段，可高效處理大面積、低分辨率要求的電極圖形；在量產(chǎn)階段，因其無需定制掩模板的特性，有助于降低成本和縮短周期，實(shí)現(xiàn)高效的電極圖形曝光。
系統(tǒng)組成：高精度無掩膜光刻系統(tǒng)主要由曝光系統(tǒng)，對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，環(huán)控系統(tǒng)，軟件系統(tǒng)，數(shù)據(jù)系統(tǒng)五大模塊組成。
2.5 交貨
2.6 交貨期：合同簽訂生效后6個(gè)月內(nèi)。
3. 投標(biāo)人資格要求：
3.1 投標(biāo)人須具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊(cè)的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。
3.2 財(cái)務(wù)要求：投標(biāo)人應(yīng)附2024年經(jīng)會(huì)計(jì)師事務(wù)所或?qū)徲?jì)機(jī)構(gòu)審計(jì)的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)報(bào)表，包括審計(jì)報(bào)告正文、資產(chǎn)負(fù)債表、現(xiàn)金流量表、利潤表的復(fù)印件。投標(biāo)人的成立時(shí)間少于上述規(guī)定年份的，應(yīng)提供成立以來的財(cái)務(wù)報(bào)表。投標(biāo)人為科研院所、高等院校等事業(yè)單位的可提供經(jīng)審計(jì)的或單位內(nèi)審的2024年財(cái)務(wù)報(bào)表。
3.3 業(yè)績要求：投標(biāo)人所投標(biāo)設(shè)備2022年1月1日至今同品牌同型號(hào)的銷售量≥3臺(tái)，提供設(shè)備銷售業(yè)績證明（提供有效的合同首頁、技術(shù)協(xié)議及驗(yàn)收?qǐng)?bào)告等證明材料復(fù)印件）。
3.4 信譽(yù)要求：投標(biāo)人在經(jīng)營活動(dòng)中，無嚴(yán)重違法失信記錄，具有良好的信譽(yù)。提供相關(guān)證明材料（如信用中國或國家企業(yè)信用信息公示系統(tǒng)或中國執(zhí)行信息公開網(wǎng)的查詢結(jié)果）或信譽(yù)承諾書。
3.5 本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
3.6 本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，一個(gè)制造商對(duì)同一品牌同一型號(hào)的設(shè)備，僅能委托一個(gè)代理商參加投標(biāo)。提供制造商的授權(quán)書原件。(本設(shè)備指“高精度無掩膜光刻系統(tǒng)”)
3.7 投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)